半导体压力传感器技术及其市场动向  

作　　者：佐藤尊伺 赵秀英 

出　　处：《微细加工技术》1992年第1期86-89,共4页Microfabrication Technology

摘　　要：压力是流体的状态量之一,压力计量对于了解流体状态非常重要,它是以石油工业为中心的工艺过程控制领域中不可缺少的。此外,最近也开始出现把压力传感器用于日常生活使用的机器上以提高它们性能的发展趋势。 一般来说是先把压力变换成力、变位和变形等其他物理量。然后,将和这些物理量的大小成比例变化的电阻和静电容量变换成电信号。利用电阻变化的压力传感器中有一种利用半导体的压力——电阻变化的压力传感器是采用IC制造技术制成。由于采用了硅微细加工技术,因而能将应变电阻和感受压力的膜片做成一个整体。

关 键 词：半导体 压力传感器 传感器 市场 

分 类 号：TH823.2[机械工程—仪器科学与技术]