冷等离子体表面改性设备的研制  

作　　者：胡建芳[1] 郭淑静[1] 李和利 马岩 钱露茜[1] 

机构地区：[1]中央民族学院物理系,北京100081

出　　处：《物理》1992年第10期614-618,共5页Physics

基　　金：国家自然科学基金资助项目.

摘　　要：本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要，实验结果表明，该设备结构合理，性能可靠．

关 键 词：冷等离子体 表面变性 设备 

分 类 号：O539[理学—等离子体物理]