精密衍射光栅信号的椭圆拟合与细分校正算法  

Ellipse Fit Algorithm and Subdivision Revision Method of Precision Diffraction Grating

作　　者：王选择[1] 郭军[2] 谢铁邦[2] 

机构地区：[1]三峡大学机械与材料学院 [2]华中科技大学

出　　处：《工具技术》2003年第12期47-49,共3页Tool Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (项目编号:50 1 750 37);博士点基金项目(项目编号 :2 0 0 2 0 4 870 39)

摘　　要：讨论了对相位差为非严格 90°的衍射光栅干涉条纹两路正弦信号的椭圆拟合算法的实现 ;提出了基于光栅正弦信号实际相位差进行残余相移识别的软件细分校正方法 ;分析了常规软件细分处理方法的缺陷并对常规细分处理方法所引起的测量误差进行了仿真。The realization of ellipse fit algorithm for two sinusoidal signal of diffraction grating with non-strict 90° phase dispatch is discussed. The softw a re subdivision revision method is presented to identify remainder phase shift ba sed on practical phase dispatch of grating sinusoidal signal. The shortcoming of general software subdivision method is analyzed and its method error is simulat ed. The effectiveness in improving measurement precision of the grating with the software subdivision revision method presented in this paper is verified by the noise measurement experiment in stable state of measurement system.

关 键 词：光栅干涉条纹 李萨如圆 椭圆拟合 软件细分 正弦信号 

分 类 号：TH741.6[机械工程—光学工程]