多孔阳极氧化铝薄膜的应用进展  

Developments in Application of Porous Anodic Oxide Aluminum Film

作　　者：马全宝[1] 张正富[1] 杨显万[1] 徐明丽[1] 杨勇彪[1] 陈庆华[1] 

机构地区：[1]昆明理工大学材料与冶金工程学院,昆明650093

出　　处：《材料导报》2004年第1期16-17,28,共3页Materials Reports

基　　金：国家自然科学基金(项目编号:50161002);云南省自然科学青年基金(项目编号:2001E0007Q);国家人事部2001年度博士后基金

摘　　要：简要介绍了近几年来多孔阳极氧化铝薄膜的应用进展。由于该类薄膜特有的纳米有序孔阵列结构,而被人们用作合成纳米有序结构的模板、制备纳米多孔氧化铝传感器及用于制备纳米电子器件和纳米光电子器件等领域。预计这类薄膜在纳米功能器件制备领域的应用还会进一步拓宽。This article provides a brief review of developments in application of porous alumina membrane in recent years. Because of its specific structure of periodic nano-array,it has been used fabricating ordered nano-structures and preparing porous sensors, nano-electronic devices and nano-optoelectronic devices wider application of this film can be expected in preparation of functional nanometer devices.

关 键 词：多孔阳极氧化铝薄膜 纳米有序结构 电解着色法 电子器件 传感器 半导体材料 

分 类 号：TN304.21[电子电信—物理电子学] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]