微纳定位/进给技术研究现状  

Survey on micro-nano positioning /driving technologies

作　　者：嵇国金[1] 马奎[1] 王磊[1] 

机构地区：[1]同济大学中德学院,上海200092

出　　处：《微纳电子技术》2003年第5期40-44,共5页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：微纳定位/进给技术是微纳科学技术、微电子工程、航空航天等领域的关键基础技术。它同时也是微纳科学技术走向产业化的前提。本文就当前几种典型的微纳定位/进给技术做一个总结,分析了各种定位/进给机构的定位/进给原理和具体结构,指出了存在的问题和可能的解决方法。Micro-nano positioning /driving technologies are the essential ones for micro-nano science&technology,micro electric engineering and aeronautic&aerospace etc.It is the premise for their industrialization.Some representative micro-nano positioning /driving technologies are surveyed in the paper,their theories and specific structures are analysed.Problems are defined and possible solutions are proposed.

关 键 词：微纳定位/进给技术 微纳技术 微电子工程 蠕动原理 冲击驱动原理 

分 类 号：TP271[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TB383[自动化与计算机技术—控制科学与工程]