等离子体辅助的金属表面氮化的Monte-Carlo模拟  

Monte-Carlo Simulation of Plasma-assisted Nitriding of Steel Surface

作　　者：张连珠[1] 孔令宜[1] 何琪[1] 

机构地区：[1]河北师范大学物理学院,河北石家庄050016

出　　处：《河北师范大学学报（自然科学版）》2003年第6期589-592,共4页Journal of Hebei Normal University：Natural Science

基　　金：河北师范大学科学研究基金资助项目(L2001Y04)

摘　　要：采用快电子和重粒子(N2+,N+,Nf)混合的Monte Carlo模型,计算了氮直流辉光放电等离子体辅助的金属表面氮化过程中,原子态粒子(N+,N)的产生率及氮化粒子(N+,Nf)轰击靶表面的粒子数密度及入射角随气体温度的变化规律.结果表明,粒子(N+,N)的产生率及在靶表面的密度分布都随着放电气体温度的升高而减少;粒子(N+,Nf)在工件表面的分布均匀且主要表现为小角入射,入射角的分布受温度的影响较小.模拟结果与实验结果符合得较好.Using a combination of MonteCarlo model fast electron and specise(N2+,N+,Nf),creation rate of atomic specise(N+,N)and density and angular distribution of specise(N+,Nf)bombarding negative target in nitrogen direct current discharg plasmaassisted nitridng of steel surface is investigacd.It is found that creation race and density at steel surface of atomic aspecise(N+,N)decreases with increases temperature,the result of compution is generally in agreement with experiment.

关 键 词：金属表面氮化 氮直流辉光放电等离子体 Monte—Carlo模拟 离解碰撞 金属表面处理 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]