半导体设备市场托起IC明天的希望  

作　　者：赵明华 

机构地区：[1]本刊通讯员

出　　处：《半导体技术》2004年第3期7-11,共5页Semiconductor Technology

关 键 词：半导体设备 市场 集成电路 发展前景 

分 类 号：F407.63[经济管理—产业经济]