全自动划片机自动识别对准技术的研究  

How to Use Recognition and Matching Technique in Full Automatic Dic ing Saw

作　　者：杨云龙[1] 刘金荣[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京东燕郊101601

出　　处：《电子工业专用设备》2004年第3期46-48,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：主要阐述了数字图像处理技术在全自动划片机中的应用,简单的分析了自动识别对准技术的原理及实现手段,为其他电子专用设备中自动识别对准的应用提供一些思路与技巧。Introduced the digital image processing technique application in Full Automatic Dicing Saw,and ana-lyzed its elements.It approaches a way to use the technique in other semiconductor manufacturing equipment.

关 键 词：机器视觉 模板匹配 特征识别 

分 类 号：TN305.1[电子电信—物理电子学]