TDR(L)-J50型光学炉的维护与常见故障分析  

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作  者:李留臣[1] 董淑梅[1] 高京慧[1] 赵秦延[1] 

机构地区:[1]西安理工大学,西安710048

出  处:《电子工业专用设备》2004年第3期82-84,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘  要:本文介绍了TDR(L)-J50型光学晶体生长设备的结构原理、性能特点,重点介绍了其常见故障产生的原因及预处理方法。

关 键 词:TDR(L)—J50 光学炉 维护 故障检修 光学晶体 晶体生长 

分 类 号:O78[理学—晶体学]

 

参考文献:

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