采用环形扩散电阻的硅压力传感器  

作　　者：唐祯安[1] 蒋国平[1] 牛德芳[1] 

机构地区：[1]大连理工大学微电子教研室

出　　处：《仪表技术与传感器》1992年第6期1-3,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：本文通过对C型硅杯式压力传感器工艺误差的分析,介绍了采用环形扩散电阻的优点,设计方法和实验结果。

关 键 词：传感器 压力传感器 硅 压阻式 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]