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作 者:李燕[1] 姜斌[1] 邓宏[1] 蒋书文[1] 周晓燕[1]
机构地区:[1]电子科技大学微电子与固体电子学院,成都610054
出 处:《材料导报》2004年第3期9-12,共4页Materials Reports
基 金:国家自然科学基金重点和973项目(编号:60390073)
摘 要:主要论述了低维材料的制造方法、特异性能及在光电子和微电子器件领域的应用,包括介质超晶格、金属超晶格和一维量子线;介绍了我们分别采用激光分子束外延制备的BaTiO_3/SrTiO_3介质超晶格及其介电性能、直流磁控溅射法制备的强紫外光反射的Cu/Ti超晶格和宽禁带的一维ZnO量子线;描述了低维材料的发展前景。This paper describes the fabrication, special characteristics and applications of low dimension materials, including dielectric superlattices, metal superlattices and one dimensional quantum wires. BaTiO_3/SrTiO_3 artificial superlattices deposited by pulsed laser molecular-beam epitaxy, high UV reflecting Cu/Ti superlattices fabricated by DC magnetron sputtering and ZnO quantum wires made by hydrothermal technique are introduced in this paper. Prospect for future development and potential applications of low dimension materials are forecast.
关 键 词:低维材料 制备工艺 介质超晶格 金属超晶格 氧化锌量子线 纳米材料
分 类 号:TB383[一般工业技术—材料科学与工程]
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