等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法  

作　　者：王久丽[1] 张谷令[1] 王友年[2] 刘元富[1] 刘赤子[1] 杨思泽[1] 

机构地区：[1]中国科学院物理研究所,北京100080 [2]大连理工大学三束国家重点实验室,大连116024

出　　处：《科学通报》2004年第5期409-418,共10页Chinese Science Bulletin

摘　　要：综述了近年来国内外对等离子体源离子注入离子鞘层理论研究的进展情况,介绍了研究离子鞘层扩展动力学所常用的几种计算方法并通过比较指出了其各自的优缺点及适用条件,通过对一些计算结果的分析指出了在PSⅡ实验中常见的样品表面离子注入不均匀等问题出现的原因及解决办法,介绍了PSⅡ方法用于柱状长管子内表面改性时的计算结果,并力图展望今后PSⅡ离子鞘层扩展动力学计算的发展趋势。

关 键 词：等离子体鞘层模拟 流体模型 粒子模拟 等离子体源离子注入 扩展动力学 低温等离子体材料 表面改性 

分 类 号：O539[理学—等离子体物理]