硅蓝宝石力敏传感器及其制备方法  

作　　者：段祥照 

出　　处：《传感器世界》2004年第2期53-53,共1页Sensor World

关 键 词：硅蓝宝石 力敏传感器 应变片 应力杯 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]