毛细作用钌基厚膜应变电阻烧结过程中的作用和影响  

The Influence of Capillarity on the Ru-based Thick Film Strain Resistors in the Progress of Sintering

作　　者：丁鹏[1] 马以武[1] 

机构地区：[1]中国科学院合肥智能机械研究所

出　　处：《传感器世界》2004年第2期17-19,共3页Sensor World

摘　　要：本文将毛细作用的基本公式应用于钌基厚膜应变电阻的烧结过程,建立厚膜应变电阻玻璃扩散、渗透的数学模型,并用该模型对一些试验现象进行了分析,较好地解释和探讨了导电相粒径、烧结时间等对方阻的影响。In this paper the fundamental formula of capillarity is employed on the Ru-based thick film strain resistors in the progress of sintering, and the consequence is used to interpret some experimental phenomena .The effects on the sheet resistance , of conductive phase particle size , the sintering time, and etc, are successfully explained.

关 键 词：毛细作用 钌基厚膜应变电阻 烧结 玻璃扩散 渗透 导电相粒径 厚膜压力传感器 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]