液相外延生长薄膜的衬底夹具  

作　　者：赵广军[1] 何晓明[1] 徐军[1] 王海丽[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所201800

出　　处：《科技开发动态》2004年第3期40-40,共1页R&D Information

关 键 词：液相外延生长薄膜 衬底夹具 定位腔 安装 

分 类 号：TB43[一般工业技术] TG75[金属学及工艺—刀具与模具]