氧化物辅助合成纳米硅线的研究  

作　　者：赵明文[1] 

机构地区：[1]山东大学物理与微电子学院

出　　处：《国际学术动态》2004年第2期35-36,共2页International Academic Developments

摘　　要：2002年8月15日～2003年8月15日，我被山东大学派往香港城市大学物理与材料科学系金刚石与超级薄膜中心(COSDAF)进行了为期1年的合作研究。主要从事氧化物辅助合成纳米硅线的生长机理的理论研究工作。

关 键 词：氧化物 辅助合成 纳米硅线 纳米电子元件 制造 

分 类 号：TN04[电子电信—物理电子学] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]