硅微传声器的电声测试与灵敏度分析  

Electro-acoustic measurement and sensibility analysis of silicon mini-microphone

作　　者：马军[1] 汪承灏[1] 李伯权[1] 李晓东[1] 田静[1] 吕亚东[1] 

机构地区：[1]中国科学院声学研究所,北京100080

出　　处：《电声技术》2004年第4期19-21,共3页Audio Engineering

摘　　要：根据所研制的电容式硅微传声器理想模式下的工作原理,建立了分析声-电模型,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性,并对不同结构参数的电容式硅微传声器进行性能测试,得出了系统设计的原则,要想得到高灵敏度的微传声器器件,在满足工艺可实现性的条件下,必须考虑尽可能小的空气隙厚度,以及具有较小内应力的声学振膜。

关 键 词：硅微传声器 电声测试 灵敏度 工作原理 振膜 测试理论 结构设计 

分 类 号：TN641[电子电信—电路与系统]