酸增殖剂的合成及其应用原理  被引量:1

Research Development of Acid Proliferation Generator and Their Application

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作  者:陈娟[1] 张颂培[1] 祝钧[1] 李森兰[2] 

机构地区:[1]北京工商大学化学与环境工程学院,北京100037 [2]洛阳师范学院化学系,河南洛阳471022

出  处:《洛阳师范学院学报》2004年第2期47-51,共5页Journal of Luoyang Normal University

摘  要:综述了酸增殖剂研究新进展 ,重点介绍了几种有应用前景的酸增殖剂及其反应机理 .讨论了酸增殖剂在化学增幅型抗蚀剂体系、UV紫外光固化材料、CTP制版中的应用 .The development of research for acid proliferation generator (APG) was reviewed and some kinds of APG having application prospect and their reaction mechanism were introduced in detail;the usage of APG in chemically amplified photoresist and UV solidification materials,and CTP were also discussed in this review.

关 键 词:酸增殖荆 化学增幅型抗蚀剂 磺酸酯 

分 类 号:TQ314.24[化学工程—高聚物工业]

 

参考文献:

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