新闻摘要  

出　　处：《电子元器件应用》2004年第2期J003-J004,共2页Electronic Component & Device Applications

摘　　要：我国首条200mm硅单晶抛光片生产线通过验收我国首条可满足0.25μm线宽IC需求的200mm(8英寸)硅单晶抛光片生产线——硅单晶抛光片高技术产业化示范工程日前通过整体验收。业内人士认为,200mm硅单晶抛光片示范工程项目,可在一定程度上满足中国半导体器件市场的需求,促进中国深亚微米集成电路的技术进步,这是中国大直径硅单晶工程化技术开发和实现工业经济规模生产的有益尝试。

关 键 词：中国 硅单晶抛光片生产线 工业经济规模 印刷验证系统 微电子 

分 类 号：F426.63[经济管理—产业经济]