软x射线平场光谱仪系统的优化设计  

Optimization study of a soft x ray flat field spectrometer

作　　者：刘运全[1] 张杰[1] 陈正林[1] 彭晓昱[1] 

机构地区：[1]中国科学院物理研究所光物理实验室,北京100080

出　　处：《物理学报》2004年第5期1433-1439,共7页Acta Physica Sinica

基　　金：国家自然科学基金 (批准号 :199740 74;60 10 80 0 7);国家高科技惯性约束聚变主题 (批准号 :863 416);国家重点基础研究专项经费 (批准号 :G19990 75 2 0 0 )资助的课题~~

摘　　要：采用光线追踪和光路函数的方法 ,优化设计了具有超环面镜的前置光学系统的掠入射软x射线平场谱仪 ,得到了谱仪的谱分辨和空间分辨本领 .波前像差理论和光线追踪程序得到结果均表明 ,优化设计后的软x射线平场谱仪系统在波长为 4— 4 5nm的光谱范围内具有很好谱分辨能力 (λ Δλ >10 0 0 )和空间分辨能力 (优于 4 0 μm) .Using ray tracing code and optical path function, optimization calculation is carried out on a grazing incidence soft x ray flat field spectrometer with toroidal mirror as prepositive optic system. We calculate the spectral and spatial resolution of the spectrometer system. The wave front aberration theory and ray tracing code indicate that the system has good spectral resolution(λ/Δλ)better than 1000 and spatial resolution better than 40μm in the spectrum range of 4—45nm.

关 键 词：软X射线平场谱仪 光路函数 光线追踪 谱分辨 空间分辨 波前像差理论 

分 类 号：O439[机械工程—光学工程]