新型大量程LTP控制系统及数据处理系统  

Control system and data processing system of the novel LTP

作　　者：杜国浩[1] 肖体乔[1] 夏绍建[1] 温利[1] 徐洪杰[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海应用物理研究所,上海201800

出　　处：《核技术》2004年第7期511-514,共4页Nuclear Techniques

基　　金：中国科学院仪器研制和改造项目

摘　　要：讨论了最近研制成功的新型大量程长程面形仪(LTP)中精密线性导轨扫描、定向移动以及高精度任意步长等运动的控制;采用面阵CCD获取准直激光束通过位相板形成的衍射图像、经采集卡数字化,由计算机完成数据处理。数据处理中实现了MATLAB与VC++程序间的通信,采用质心法分离测量光斑以及参考光斑,并利用MATLAB中神经网络算法求取位相板衍射图像中暗线位置,达到了设计要求的精度。The control of linear guided stage and image capturing system in the novel Long Trace Profiler (LTP) are discussed. Diffraction pattern capturing and data processing are completed through Area Scan CCD camera, frame grabber and computer. Communication between the Matlab and VC++ is established. The measuring pattern and reference pattern are separated by the law of centroidal method. Higher precision of the light spot determination is obtained using Neural Networks Algorithms.

关 键 词：面阵CCD 线性导轨 位相板 质心法 衍射图像 

分 类 号：TP273.5[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]