国家自然科学基金(90307003)

作品数：53被引量：117H指数：6
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相关作者：张玉林卢文娟宋会英魏强孔祥东更多>>
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相关期刊：《微电子学与计算机》《仪器仪表学报》《压电与声光》《电子工业专用设备》更多>>
相关主题：电子束微机电系统电子束光刻扫描隧道显微镜聚合酶链式反应更多>>
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压电驱动微定位工作台的建模被引量：3
《压电与声光》2010年第2期247-250,共4页魏强 胡承忠 张栋 张玉林 
国家自然科学基金重大研究计划基金资助项目(No.90307003);山东省教育厅科技计划基金资助项目(J08LJ89)
为提高压电陶瓷驱动的微定位工作台的模型精度,提出了一种基于动态递归神经网络的建模方法。压电陶瓷具有极高的位移分辨率,但存在着迟滞非线性。分析了压电陶瓷驱动器的结构和特性,利用动态神经网络的自反馈结构和自学习能力,建立起工...
关键词：纳米定位 精密工作台 压电驱动器 系统辨识 神经网络 
低成本PCR微反应器阵列的温度测量与控制技术
《中国工程科学》2007年第7期76-81,共6页李现明 张玉林 李建田 
国家自然科学基金(90307003);山东省自然科学基金(Y2003G03)资助项目
设计了一种用于聚合酶链式反应的低成本微反应器,其内部无微加热器、微传感器。针对这种低成本的微反应器,提出了一种温度测量与控制方案,其特点是将各反应器温度的集中控制与分散控制有机结合,能够同时完成上百只微反应器快速、准确的...
关键词：微反应器 测量 控制 聚合酶链式反应 
压电陶瓷微位移工作台的建模方法被引量：10
《光学精密工程》2007年第10期1596-1601,共6页魏强 张玉林 
国家自然科学基金资助项目(No.90307003)
压电陶瓷存在着迟滞非线性特性,而且在运行过程中,特性的变化规律也是未知的、不确定的,难以用传统方法获取既有足够精确性又不至于过分复杂的压电陶瓷微位移工作台的数学模型。基于神经网络,本文提出了一种新的建模方法。分析了微位移...
关键词：精密工作台 压电陶瓷 纳米定位 神经网络 系统辨识 
非标准化传感器信号调理的一种新方法被引量：1
《传感器与微系统》2007年第9期32-34,共3页李现明 张玉林 李建田 
国家自然科学基金资助项目(90307003);山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)
以非标准化热电阻为例,介绍了非标准化传感器如何与标准化传感器信号调理电路相匹配的一种方法。这种匹配方法的实质是充分利用测量系统的数据处理功能,通过软件来补偿非标准化传感器与标准化传感器之间的差异。它有效简化了测量系统的...
关键词：传感器 信号调理 标准化 补偿 
微机电系统内温度传感器的负荷效应及其补偿
《传感技术学报》2007年第8期1757-1761,共5页李现明 张玉林 李建田 
国家自然科学基金资助(90307003);山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)
传感器对被测对象的负荷效应是微机电系统中不可忽视的一个问题.阐述了负荷效应的基本概念,提出了一种通过实验获取传感器负荷效应的方法,称之为"二减一法",并以聚合酶链式反应芯片内的温度传感器为例详细论述了该方法的具体应用.
关键词：传感器 负荷效应 微机电系统 聚合酶链式反应 芯片 
电子束光刻制造软刻蚀用母板的研究被引量：2
《光电子．激光》2007年第7期788-791,共4页卢文娟 张玉林 孔祥东 郝惠娟 
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003);国家自然科学基金资助项目(10572078);山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03);山东省科技攻关计划基金资助项目(022090105)
使用通用电子束曝光机,采用一种新的电子束微三维加工的重复增量扫描方式进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的微三维结构,以此为制作弹性印章的母模板,经硅烷化后可用来制作弹性印章,得到弹性印章后便可再利用软刻蚀相关技术进行微图形...
关键词：电子束光刻 软刻蚀技术 母板 弹性印章 微三维加工 
电子束光刻的快速邻近效应校正被引量：3
《微细加工技术》2007年第3期1-5,64,共6页宋会英 张玉林 于肇贤 郝慧娟 
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003)
提出了实现电子束光刻的快速邻近效应校正的分级模型。首先利用矩阵实现内部最大矩形和顶点矩形的快速替换,然后对内部最大矩形和顶点矩形进行校正迭代。在校正迭代的过程中,用局部曝光窗口与曝光强度分布函数直接卷积计算邻近图形对关...
关键词：邻近效应校正 局部曝光窗口 全局曝光窗口 关键点 
基于遗传算法的显影速率参数确定
《微细加工技术》2007年第3期6-8,17,共4页郝慧娟 张玉林 魏强 卢文娟 
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003);山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03);国家自然科学基金资助项目(10572078)
为了更精确地确定显影速率参数,采用基于遗传算法的最小二乘法对显影速率进行拟合,并与Gauss-Newton迭代法进行了比较。结果显示,基于遗传算法的拟合效果更佳,具有较强的鲁棒性,可以用于显影速率参数的确定。该拟合可以为显影模拟、曝...
关键词：显影速率 最小二乘法 遗传算法 Gauss-Newton迭代法 
CHI900扫描电化学显微镜图形处理软件的改进
《微电子学与计算机》2007年第6期133-136,共4页崔蕾 张玉林 伍海龙 郝慧娟 崔娜 
国家自然科学基金重大研究计划项目(90307003);山东省自然科学基金项目(Y2003G03);山东省科技攻关计划基金项目(022090105)
CHI900扫描电化学显微镜自带的软件不能直接将实验数据或者面扫描图形转换为三维扫描图形,由此提出了基于VC和Matlab混合编程的图形处理软件,实现了三维图形的转换,利用小波阈值对实验曲线降噪,取得了较好的处理效果。
关键词：扫描电化学显微镜 混合编程 三维图形 小波阈值 
扫描电化学显微镜的探针驱动电路
《电子产品世界》2007年第4期86-86,88,共2页伍海龙 张玉林 崔蕾 
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003);山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)。
采用一种由步进电机和压电陶瓷构成的宏微二级位置控制系统,设计了基于L298N的步进电机驱动电源和基于PA69的压电陶瓷驱动电源,电路简单实用,达到了扫描电化学显微镜对探针定位的要求。
关键词：SECM 宏微定位 驱动电路 扫描电化学显微镜 探针 步进电机 压电陶瓷 
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