云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 湖南省教育厅科研基金(10C1235)

湖南省教育厅科研基金(10C1235): 作品数：1被引量：3H指数：1; 导出分析报告; 相关作者：李明君谢光奇李亚兰王焕友更多>>; 相关机构：中南大学湘南学院华中师范大学更多>>; 相关期刊：《中国科学：物理学、力学、天文学》更多>>; 相关主题：MOCVD生长氮化镓线位位错密度应力应变更多>>; 相关领域：电子电信更多>>

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圆锥形图形化蓝宝石衬底对MOCVD生长GaN外延膜的位错密度和应力应变影响被引量：3: 《中国科学：物理学、力学、天文学》2013年第11期1519-1524,共6页王焕友李亚兰谢光奇李明君; 湖南省教育厅科研基金(编号:10C1235);湖南省自然科学基金(编号:13JJ3121)资助项目; 通过金属氧化物化学气相沉积(MOCVD)方法在2.5 m×1.6 m×0.5 m圆锥形图形化蓝宝石衬底(CPSS)和没有图形化平面蓝宝石衬底(USS)上生长GaN外延膜.高分辨率X射线衍射仪(HRXRD)测试结果表明,生长在CPSS上GaN的刃位错的密度比生长在USS上Ga...; 关键词：圆锥形图形化蓝宝石衬底氮化镓线位错应力应变