表面物理与化学国家重点实验室开放基金(90000460200606)

作品数：2被引量：13H指数：2
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相关作者：王德真刘成森刘天伟李晓红王艳辉更多>>
相关机构：中国工程物理研究院大连理工大学辽宁师范大学更多>>
相关期刊：《物理学报》《真空科学与技术学报》更多>>
相关主题：鞘层等离子体源球心电极PIC更多>>
相关领域：理学金属学及工艺更多>>
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球心处有附加电极的半圆形容器等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化被引量：8
《真空科学与技术学报》2008年第5期415-419,共5页刘成森 李晓红 王德真 刘天伟 
表面物理与化学国家重点实验室基金(No.90000460200606)资助的课题
本文利用两维流体模型研究了半圆形容器在放置共心零电位附加电极情况下,等离子体源离子注入的离子鞘层时空演化动力学过程。考察了鞘层内随时间变化的电势分布和离子密度分布,计算了容器内外表面的离子束流密度分布和注入剂量分布随时...
关键词：半圆形容器 等离子体源离子注入 鞘层演化 
半圆形容器等离子体源离子注入过程中离子动力学的两维PIC计算机模拟被引量：8
《物理学报》2008年第10期6450-6456,共7页刘成森 王德真 刘天伟 王艳辉 
表面物理与化学国家重点实验室基金(批准号:90000460200606)资助的课题~~
利用两维particle-in-cell方法研究了半圆形容器表面等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化规律.详尽考察了鞘层内随时间变化的电势分布和离子密度分布规律,离子在鞘层中的运动轨迹和运动状态,得到了半圆容器内、外表面和边缘平面上...
关键词：等离子体源离子注入 鞘层 两维particle-in-cell方法 离子运动轨迹 
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