国家高技术研究发展计划(2002AA312070)

作品数:24被引量:53H指数:4
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AlGaAs湿法氧化的热稳定性研究被引量:1
《激光与红外》2006年第9期871-873,共3页董立闽 郭霞 渠红伟 邹德恕 廉鹏 邓军 沈光地 
国家自然科学基金资助项目(No.69889601);国家"863"高技术计划资助项目(No.2002AA312070)
文中针对A lGaAs湿法氧化后器件热稳定性变差,导致性能下降的问题进行了研究。对不同氧化条件下样品的热稳定性进行了比较,证明采用降低炉温、延长氧化时间以及经过预加热处理等方法可以有效提高器件的热稳定性。利用拉曼谱分析了A lGaA...
关键词:垂直腔面发射激光器 ALGAAS 湿法氧化 热稳定性 
具有渐变层半导体DBR的MOCVD外延制备被引量:1
《功能材料与器件学报》2006年第3期207-210,共4页盖红星 邓军 廉鹏 俞波 李建军 韩军 陈建新 沈光地 
国家自然科学基金资助项目(No.60276033No.69889601);国家863高技术计划资助项目(No.2002AA312070);国家973计划资助项目(No.G20000683-02);北京市自然科学基金资助项目(No.4021001);北京市教委资助项目(No.01kJ-014)
应用金属有机化合物气相淀积(MOCVD)制备了具有渐变层的半导体布拉格反射镜(DBR),分别是抛物线性、线性和突变结构的DBR。三种反射镜结构都设计为8个周期,通过白光反射谱测量突变DBR具有最大反射率。应用原子力显微镜对所制备的DBR表面...
关键词:布拉格反射镜 金属有机化合物气相淀积 原子力显微镜 ALGAAS 
隧道再生结构的垂直腔面发射激光器激射特性研究
《固体电子学研究与进展》2005年第4期499-502,530,共5页渠红伟 郭霞 邓军 董立闽 廉鹏 邹德恕 沈光地 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60276033和批准号69889601);国家"863"高技术计划资助项目(批准号:2002AA312070);国家"973"计划资助项目(批准号:G20000683-02);北京市自然科学基金资助项目(批准号:4021001)
对隧道再生多有源区内腔接触式垂直腔面发射激光器(VCSEL)材料特性进行了实验研究,得到了VCSEL外延片量子阱增益谱峰值波长、谐振腔谐振波长、DBR反射谱中心波长及材料的生长厚度偏差等重要信息。如果谐振腔谐振波长比增益谱峰值波长长2...
关键词:垂直腔面发射激光器 隧道再生 边发射 增益谱 
Threshold Current Characteristics of Intracavity-contacted Vertical-cavity Surface-emitting Laser
《Semiconductor Photonics and Technology》2005年第2期81-84,共4页QUHong-wei GUOXia DONGLi-min DENGJun LIANPeng ZHOUDe-shu SHENGuang-Di 
National Natural Science Foundation of China ( 60276033 ); National High Technology Research and Development Program of china(2002AA312070); National Key Basic Research Plan of china(G20000683-02); Beijing Natural Science Foundation of China
Threshold current characteristics of intracavity-contacted oxide-confinedvertical-cavity surface-emitting laser had been investigated in detail. Threshold currentcharacteristics not only were depended on the size of o...
关键词:VCSEL threshold current gain peak lasing mode TEMPERATURE 
低电阻p-DBR结构的模拟分析被引量:2
《半导体技术》2005年第6期56-59,共4页马丽娜 郭霞 盖红星 渠红伟 董立闽 邓军 廉鹏 沈光地 
国家自然科学基金资助项目(60276033;69889601);国家"863"高技术计划资助项目(2002AA312070);国家"973"计划资助项目(G20000683-02);北京市自然科学基金资助项目(4021001)
设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响。利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实...
关键词:渐变布拉格反射器 渐变形状 价带势垒 
渐变分布布拉格反射镜特性分析与测试被引量:1
《传感器世界》2005年第6期15-18,共4页马丽娜 郭霞 盖红星 渠红伟 董立闽 邓军 廉鹏 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60276033和69889601);国家"863"计划资助项目(批准号:2002AA312070);国家"973"计划资助项目(批准号:G20000683-02);北京市自然科学基金资助项目(批准号:4021001)
垂直腔面发射激光器(VCSELs)是一种新型半导体激光器,可以广泛应用于光通信和光互连。本文模拟分析了垂直腔面发射激光器中的分布布拉格反射镜(DBRs)对价带势垒的影响,并对几种不同结构的反射镜的电阻进行了测试,测试结果表明采用抛物...
关键词:分布布拉格反射镜 价带势垒 渐变结构 
隧道再生多有源区垂直腔面发射激光器光学特性研究
《激光与红外》2005年第4期246-249,共4页渠红伟 郭霞 邓军 董立闽 廉鹏 邹德恕 沈光地 
国家自然科学基金资助项目(NO: 60276033和NO:69889601);国家"863"高技术计划资助项目 (NO:2002AA312070 );国家"973"计划资助项目(NO:G20000683-02 );北京市自然科学基金资助项目(NO: 4021001)。
文章对隧道再生两个有源区内腔接触式垂直腔面发射激光器(VCSEL)光学特进行了研究。主要包括:通过纵向光场分布模拟分析了驻波效应;测量得到了VCSEL外延片量子阱增益谱峰值波长、谐振腔谐振波长、分布布喇格反射器(DBR)反射谱中心波长...
关键词:垂直腔面发射激光器 边发射 模式 增益谱 
垂直腔面发射激光器温度特性的研究被引量:7
《激光与红外》2005年第2期83-86,共4页渠红伟 郭霞 董立闽 邓军 达小丽 徐遵图 沈光地 
国家自然科学基金资助项目 (No. 60276033和No.69889601);国家"863"高技术计划资助项目 (No.2002AA312070 );国家"973"计划资助项目(No.G20000683 -02 );北京市自然科学基金资助项目(No. 4021001)。
借助于SV-32低温恒温器及LD2002C5 VCSEL测试系统,对内腔接触式氧化物限制型垂直腔面发射激光器进行了变温实验研究,测得在-10℃~70℃温度范围内,器件输出光功率、电压、斜率效率、发射波长和阈值电流随温度变化的实验曲线,并结合不同...
关键词:垂直腔面发射激光器 增益谱 谐振腔 反射谱 温度 
新型长波长半导体激光器材料GaInNAs
《半导体技术》2005年第2期21-24,29,共5页俞波 韩军 李建军 邓军 廉鹏 沈光地 
科技部863计划项目(2002AA312070)
对新型长波长半导体材料GaInNAs进行了述评。通过材料性质的介绍,表明GaInNAs材料是一种很有前景的长波长半导体材料。同时介绍了目前GaInNAs材料的几种主要制备手段并进行了比较, 指出了目前MOCVD生长GaInNAs材料存在的难点。介绍了目...
关键词:GAINNAS 氮化物 VCSEL 
乙二醇辅助多层硅/硅直接键合被引量:2
《Journal of Semiconductors》2005年第2期395-398,共4页杨道虹 徐晨 沈光地 
北京市教委 (批准号 :KM2 0 0 3 10 0 0 5 0 0 9);国家高技术研究发展计划 (批准号 :2 0 0 2AA3 12 0 70 )资助项目~~
利用乙二醇的分子结构和氢键在 10万级的超净环境下成功地进行了多层乙二醇环境下的硅 /硅直接键合 ,并在氮气保护下 110 0℃热处理后进行了拉力强度测试 ,平均键合强度达到了 10MPa .SEM观测表明 ,在键合界面没有发现孔洞和空隙 .该方...
关键词:微电子机械系统 乙二醇 键合 
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