教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NECT-04-0981)

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离轴照明下依赖于入射角度的矢量霍普金斯公式被引量：1
《物理学报》2008年第11期6946-6954,共9页曹鹏飞 程琳 张晓萍 
教育部新世纪优秀人才支持计划(批准号:NECT-04-0981)资助的课题~~
应用矢量电磁场理论和波导模型推导出离轴照明下的矢量霍普金斯公式,与传统的标量霍普金斯公式不同之处在于引入了入射角及入射方位角.通过仿真实际投影光刻工艺下三维掩模的成像效果,分析了最佳入射角范围,讨论了离轴照明时入射角对最...
关键词：光学光刻 矢量霍普金斯公式 矢量电磁场理论 离轴照明 
扩展傅里叶衍射理论在相移掩模中的应用
《光电工程》2008年第1期40-44,共5页刘佳 张晓萍 
教育部新世纪优秀人才支持计划(NECT-04-0981)
针对现代光刻中,超大数值孔径的情况下,通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精确,必须得考虑倾斜照明带来的阴影效应。因此本文针对交替式相移掩模,提出了一种考虑阴影效应的近似模型。重新定义了阴影比率的公式。该...
关键词：超大数值孔径 相移掩模 离轴照明 阴影效应 傅里叶衍射理论 
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