国家自然科学基金(10804084)

作品数：9被引量：23H指数：4
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相关作者：马艳李同保张萍萍张宝武程锋更多>>
相关机构：同济大学中国计量学院清华大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室更多>>
相关期刊：《光学学报》《Chinese Physics Letters》《红外与激光工程》《Chinese Physics B》更多>>
相关主题：原子光刻激光光学蒙特卡罗方法DEPOSITIONATOMIC更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
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基于AFM硅表面局域阳极氧化的特性研究及纳米计量标准样板的制作被引量：1
《纳米技术与精密工程》2016年第2期150-157,共8页程锋 马艳 马蕊 李同保 
国家自然科学基金资助项目(10804084,91123022,61565004);中国科学院纳米器件与应用重点实验室开放基金资助项目(14CS01)
基于原子力显微镜(AFM)在硅(Si)表面进行局域阳极氧化的技术,以其成本低、易加工等优势被广泛应用于各种纳米元器件的制造.本文基于AFM在Si表面进行局域阳极氧化来制作纳米计量标准样板,首先分别在接触模式和轻敲模式下进行实验,定量分...
关键词：原子力显微镜 阳极氧化 标准样板 光栅 
Fabrication and measurement of traceable pitch standard with a big area at trans-scale被引量：6
《Chinese Physics B》2014年第9期143-147,共5页邓晓 李同保 雷李华 马艳 马蕊 翁浚婧 李源 
supported by the Major Research Plan of the National Natural Science Foundation of China(Grant No.91123022);the Young Scientists Fund of the National Natural Science Foundation of China(Grant No.10804084)
Atom lithography with chromium can be utilized to fabricate a pitch standard, which is chrectly traceable to me wavelength of the laser standing waves. The result of a calibrated commercial AFM measurement demonstrate...
关键词：atom lithography nano-scale metrology standard TRACEABILITY 
用于研制纳米长度标准的激光准直原子技术研究(英文)被引量：1
《红外与激光工程》2014年第9期2929-2934,共6页马艳 肖胜炜 张万经 
上海市纳米专项(0852nm07000,0952nm07000);国家自然基金(10804084,91123022);国家科技支撑项目(2006BAF06B08);教育部博士点基金(200802471008);中科院纳米器件与应用重点实验室开放课题(14CS01)
亚百纳米长度计量标准是实现在纳米尺度精确计量的关键器件。我们课题组已利用原子光刻技术研制出了周期为213±0.1nm的光栅,该光栅的周期对应于原子的跃迁频率,具有直接溯源性和高的精确度。理论与实验数据表明原子的横向准直效果是影...
关键词：原子光刻 多普勒冷却 横向温度 刀口 角分布 
蒙特卡罗方法数值模拟二维原子光刻被引量：2
《同济大学学报（自然科学版）》2012年第8期1270-1275,共6页张萍萍 马艳 李同保 
国家自然科学基金(10804084)
间距为半波长的纳米点制作可以进一步推动纳米计量的发展.基于经典粒子光学模型,采用蒙特卡罗思想提供初始条件,数值分析了偏振方向平行于光场平面、正交激光驻波场形成的光格点的汇聚与沉积特性.针对不同激光功率以及横向发散角分析了...
关键词：激光光学 原子光刻 纳米计量 纳米点 蒙特卡罗方法 
Laser-Focused Atomic Deposition for Nanascale Grating被引量：4
《Chinese Physics Letters》2011年第7期97-99,共3页MA Yan LI Tong-Bao WU Wen XIAO Yi-Li ZHANG Ping-Ping GONG Wei-Gang 
by the Shanghai Nanoscience Foundation(0852nm07000,0952nm07000);the National Natural Science Foundation of China(10804084);the National Key Technology R&D Program(2006BAF06B08).
Laser-focused atomic deposition is a technique with which nearly resonant light is used to pattern an atom beam.To solve the problem that the result of laser-cooled atoms cannot be monitored during the 30-min depositi...
关键词：FOCUS CHROMIUM apparatus 
激光会聚铬原子光栅三维特性分析被引量：8
《光学学报》2011年第11期190-194,共5页张萍萍 马艳 张宝武 李同保 
国家自然科学基金(10804084);清华大学国家重点实验室开放基金(DL_003)资助课题
采用近共振激光驻波场会聚铬原子沉积技术制作的原子光栅可以作为纳米级长度计量标准。基于粒子光学模型,综合考虑横向发散角、纵向速度分布以及同位素等影响因素,采用蒙特卡罗方法确定原子运动的初始条件,对激光驻波会聚原子的三维特...
关键词：激光光学 原子光刻 纳米计量 激光驻波场 蒙特卡罗方法 
一维原子光刻经典模型的优化被引量：8
《光学学报》2011年第5期150-154,共5页张萍萍 马艳 李同保 
国家自然科学基金(10804084)资助课题
利用蒙特卡罗随机思想选取轨迹初始条件,将铬原子束同位素、纵向速度分布和横向高斯发散角等因素综合考虑,对原子光刻经典粒子模型进行了优化。将优化后的模型与原模型进行了对比,同时定性分析了表面生长效应。利用新模型在不同激光功...
关键词：激光光学 原子光刻 纳米计量 粒子光学 蒙特卡罗方法 
Broadening of Cr nanostructures in laser-focused atomic deposition被引量：1
《Chinese Physics B》2010年第12期168-173,共6页卢向东 李同保 马艳 
Project supported by the Nanoscience Foundation of Shanghai,China (Grant Nos. 0852nm07000 and 0952nm07000);the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 10804084);the National Science & Technology Support Project (Grant No. 2006BAF06B08)
This paper presents the experimental progress of laser-focused Cr atomic deposition and the experimental condition. The result is an accurate array of lines with a periodicity of 212.8±0.2 nm and mean full-width at h...
关键词：atom optics laser-focused atomic deposition kinetic Monte Carlo simulation surface growth 
原子光刻中的原子沉积数值模拟
《光学仪器》2010年第3期78-81,共4页梅卓君 王占山 马艳 
国家自然科学基金资助项目(10804084);上海市纳米技术专项基金资助项目(0259nm034;0452nm029);国家科技支撑计划资助项目
近年来,有关原子光刻的实验研究得到了快速发展,并取得了一系列重大的实验进展。在原子光刻中,对不同原子在各种条件下的沉积过程的研究是具有非常重要的意义的。现利用有限差分法求解光与原子作用的薛定谔方程分析了激光功率、失谐量...
关键词：原子光刻 原子汇聚 有限差分法 
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