MAVERICK

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PREVENTING LITHOGRAPHY-INDUCED MAVERICK YIELD EVENTS WITH A DISPENSE SYSTEM ADVANCED EQUIPMENT CONTROL METHOD
《电子工业专用设备》2012年第9期60-67,共8页Jennifer Broggin 
As semiconductor manufacturers march to thedrum beat of Moore's Law there is very little roomfor yield maverieks, especially those that can beprevented. Critical process errors are costly andphotolithography is one of...
关键词：《电子工业专用设备》 期刊 编辑工作 发行工作 
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