云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- ELECTROSTRICTION

ELECTROSTRICTION: 作品数：16被引量：27H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：理学更多>>; 相关作者：黄见秋黄晓东黄庆安秦明颜景平更多>>; 相关机构：东南大学更多>>; 相关期刊：《InfoMat》《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》《Chinese Physics Letters》《Journal of Advanced Dielectrics》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金更多>>

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A Novel Capacitive Pressure Sensor被引量：7: 《Journal of Semiconductors》2008年第3期428-432,共5页黄晓东黄见秋秦明黄庆安; 国家自然科学基金重点项目资助(批准号:90607002)~~; A novel capacitive pressure sensor is presented, whose sensing structure is a solid-state capacitor consisting of three square membranes with Al/SiO2/n-type silicon. It was fabricated using pn junction self-stop etchi...; 关键词：capacitive pressure senor ELECTROSTRICTION pn junction self-stop etching adhesive bonding LINEARITY