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作品数：15被引量：27H指数：3
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：毛陆虹宋瑞良王倩朱浩波余长亮更多>>
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A New Pre-alignment Approach Based on Four-Quadrant-Photo-Detector for IC Mask被引量：3
《International Journal of Automation and computing》2007年第2期208-216,共9页Yun Liu De Xu Min Tan 
This work was supported by National High Technology Research and Development Program of PRC (No. 2002AA420040);National 973 Program of PRC (No. 2002CB312200).
In this paper, a new pre-alignment approach based on Four-Quadrant-Photo-Detector （FQPD） for IC mask is presented. The voltage outputs from FQPDs are the functions of alignment mark＇s position offsets with respect ...
关键词：Four-Quadrant-Photo-Detector （FQPD） pre-alignment IC mask polynomial fitting. 
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