MICROOPTICS

作品数：5被引量：8H指数：2
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Parallel fabrication of silicon concave microlens array by femtosecond laser irradiation and mixed acid etching被引量：4
《Chinese Optics Letters》2016年第5期78-82,共5页潘安 陈涛 李存霞 侯洵 
supported by the National Basic Research Program of China(No.2012CB921804);the National Natural Science Foundation of China(Nos.11204236 and 61308006);the Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology
A method of multi-beam femtosecond laser irradiation combined with modified HF-HNO3-CH3COOH etching is used for the parallel fabrication of all-silicon piano-concave microlens arrays （MLAs）. The laser beam is split ...
关键词：ETCHING Irradiation Laser beams Lenses MICROLENSES MICROOPTICS Optical instrument lenses SILICON Surface roughness Ultrashort pulses 
Microlens arrays prepared via colloidal microsphere templating被引量：1
《Chinese Optics Letters》2010年第5期508-511,共4页赵峰 祝名伟 詹鹏 
supported by the National Basic Research Program of China;the National Natural Science Foundation of China(Nos.10804044 and 60808025);Natural Science Foundation of Jiangsu Education Committee(No.07KJB140098);the NSFJPe(No. BK2006716).
A simple and efficient templating method in combination with hot embossing technique is developed for fabricating large-area two-dimensional（2D） microlens arrays（MLAs） with uniform shape.By utilizing a modified mi...
关键词：MICROCAVITIES MICROOPTICS Microspheres MOLDS Optical instrument lenses Silica 
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