HEXAMETHYLDISILOXANE

作品数：6被引量：13H指数：2
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Deposition of organosilicone thin film from hexamethyldisiloxane(HMDSO)with 50kHz/33MHz dual-frequency atmospheric-pressure plasma jet被引量：1
《Plasma Science and Technology》2017年第4期92-98,共7页李娇娇 袁强华 常小伟 王勇 殷桂琴 董晨钟 
supported by National Natural Science Foundation of China(Grant No.11165012,Grant No. 11665012);the Project of the Natural Science Foundation of GanSu(145RJZA159)
The deposition of organosilicone thin films from hexamethyldisiloxane（HMDSO） by using a dual-frequency （50 kHz/33 MHz） atmospheric-pressure micro-plasma jet with an admixture of a small volume of HMDSO and Ar was ...
关键词：organosilicone thin film HEXAMETHYLDISILOXANE dual-frequency atmospheric-pressureplasma jet 
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