HEXAMETHYLDISILOXANE

作品数：6被引量：13H指数：2
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Deposition of organosilicone thin film from hexamethyldisiloxane(HMDSO)with 50kHz/33MHz dual-frequency atmospheric-pressure plasma jet被引量：1
《Plasma Science and Technology》2017年第4期92-98,共7页李娇娇 袁强华 常小伟 王勇 殷桂琴 董晨钟 
supported by National Natural Science Foundation of China(Grant No.11165012,Grant No. 11665012);the Project of the Natural Science Foundation of GanSu(145RJZA159)
The deposition of organosilicone thin films from hexamethyldisiloxane（HMDSO） by using a dual-frequency （50 kHz/33 MHz） atmospheric-pressure micro-plasma jet with an admixture of a small volume of HMDSO and Ar was ...
关键词：organosilicone thin film HEXAMETHYLDISILOXANE dual-frequency atmospheric-pressureplasma jet 
The Formation of Nano-Size SiO_2 Thin Film on an Aluminum Plate with Hexamethyldisilazane (HMDSA) and Hexamethyldisiloxane (HMDSO)被引量：3
《Journal of Thermal Science》2003年第1期89-96,共8页H.K.Ma E.Zhao K.M.Chung C.L.Yeh 
This research was funded by the National Science Council (NSC 90-2212-E- 212-015)
This study is using HMDSA (C6H19NSi2) or HMDSO (C6H18OSi2) vapor into C3H8/air premixed flames to form SiO2 thin film on the surface of an aluminum plate. With the addition of HMDSO or HMDSA to premixed flames, an ora...
关键词：nano size thin film SiO2. 
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