CRALN

作品数：63被引量：191H指数：9
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
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相关期刊：《润滑与密封》《材料热处理学报》《材料研究与应用》《工具技术》更多>>
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基体偏压对高功率脉冲磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响被引量：1
《中国表面工程》2022年第5期200-209,共10页张辉 巩春志 王晓波 张炜鑫 田修波 
黑龙江省自然科学基金联合引导项目(LH2019A014);国家自然科学基金(11875119和12075071)资助项目
为了防止氢扩散导致金属材料的失效,通常在其表面制备一层CrN阻氢薄膜。但是CrN涂层的热稳定性较差,抗氧化温度低于600℃。采用高功率脉冲磁控溅射技术,利用Cr和Al双靶共沉积CrAlN薄膜来提高其高温抗氧化性能。试验变量为基体负偏压的大...
关键词：CRALN 高功率脉冲磁控溅射 基体偏压 阻氢 高温抗氧化 
电-磁场协同增强HiPIMS技术的CrAl靶放电行为及CrAlN薄膜制备
《中国表面工程》2022年第5期155-162,共8页李春伟 田修波 
中央高校基本科研业务费专项(2572018BL09);黑龙江省自然科学基金(LH2019E001);中国博士后科学基金(2016M590273)资助项目
基于常规高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)存在的问题,发展了新型HiPIMS放电模式:电-磁场协同增强高功率脉冲磁控溅射((E-MF)HiPIMS)。研究新型放电模式下CrAl靶的放电行为及CrAlN薄膜的沉积特性。结果表明,不同工作气压下,CrAl靶放电电流波...
关键词：高功率脉冲磁控溅射 CrAl靶 放电特性 CrAlN薄膜 生长形貌 
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