面比电阻

作品数：16被引量：44H指数：4
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相关领域：金属学及工艺电气工程更多>>
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高温或超高温半导体膜面比电阻实时监测系统的设计与研究
《教育现代化（电子版）》2017年第33期178-179,共2页邵勇 郭平义 赖永彪 张宇 孙杭 
江苏科技大学2016年高等教改研究项目;江苏科技大学2015年自制设备研究项目
高温或超高温半导体膜面比电阻实时监测系统主要立足于高温下材料的性能同步测试,适合于高温下具有导电性能的膜或涂层。其主要组件为提高高温环境的真空或气氛管式炉、精确控制气体流量的控制系统、耐高温的面比电阻采集与输出系统、...
关键词：高温 面比电阻 半导体膜 实时 
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