云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 直线度测量

直线度测量: 作品数：108被引量：297H指数：10; 导出分析报告; 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>; 相关作者：赵辉侯文玫冯其波张善钟乐燕芬更多>>; 相关机构：哈尔滨工业大学天津大学华中科技大学上海理工大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国防科技技术预先研究基金上海市自然科学基金更多>>

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线性位移台直线度高精密外差干涉测量装置被引量：9: 《光学精密工程》2018年第7期1570-1577,共8页金涛刘景林杨卫乐燕芬侯文玫; 国家自然科学基金资助项目(No.51075280;No.51705324);上海市自然基金资助项目(No.16ZR1423000);国家自然科学基金中德合作研究中心项目(No.GZ1287); 直线度测量中往往存在有限的测量范围、精度低和阿贝误差等问题。本文提出了一种高精密直线度外差干涉测量装置,该装置由Koester棱镜、角锥棱镜、1/4波片、楔面棱镜和楔面反射镜构成。楔面棱镜为直线度传感元件,角隅棱镜和楔面反射镜是...; 关键词：测试计量技术及仪器直线度测量外差激光干涉阿贝误差