直线度测量

作品数：108被引量：297H指数：10
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线性位移台直线度高精密外差干涉测量装置被引量：9
《光学精密工程》2018年第7期1570-1577,共8页金涛 刘景林 杨卫 乐燕芬 侯文玫 
国家自然科学基金资助项目(No.51075280;No.51705324);上海市自然基金资助项目(No.16ZR1423000);国家自然科学基金中德合作研究中心项目(No.GZ1287)
直线度测量中往往存在有限的测量范围、精度低和阿贝误差等问题。本文提出了一种高精密直线度外差干涉测量装置,该装置由Koester棱镜、角锥棱镜、1/4波片、楔面棱镜和楔面反射镜构成。楔面棱镜为直线度传感元件,角隅棱镜和楔面反射镜是...
关键词：测试计量技术及仪器 直线度测量 外差激光干涉 阿贝误差 
基于共路光线漂移补偿的直线度测量被引量：10
《光学精密工程》2011年第3期515-519,共5页由凤玲 冯其波 张斌 
国家自然科学基金资助项目(No.50675017);科学仪器基础研究专项资助项目(No.51027006)
针对影响激光测量直线度误差的主要因素之一激光光线漂移,提出了一种基于共路光线漂移补偿的直线度误差测量方法,给出了具体的测量原理和系统构成。从产生激光光线漂移的几个因素出发,理论分析了所产生的光线漂移对直线度误差测量的影响...
关键词：激光测量 直线度误差 光线漂移 共路补偿 
一种基于四象限探测器的深孔直线度测量方法的研究被引量：13
《光学技术》2007年第5期745-747,750,共4页张鹏炜 张智诠 谢劲冰 
介绍了以半导体激光光束为测量基准,采用四象限探测器进行深孔直线度检测的原理和方法。重点针对实际激光器近似于椭圆形状的入射光斑,推导了输出电压与椭圆光斑中心的变化规律,分析了光斑椭圆度对测量误差的影响,论证了方案的可行性与...
关键词：半导体激光器 四象限探测器 直线度测量 电压灵敏度 
一种共路补偿激光漂移的直线度测量方法被引量：11
《光电工程》2005年第4期32-34,38,共4页匡萃方 冯其波 刘斌 张斌 
北京交通大学优秀博士生科技创新基金(48003)
在激光基准长距离、高精度直线度测量中,空气扰动是影响其测量精度的一个主要因素。提出了一种简单的共路补偿空气扰动造成激光漂移的方法。角锥棱镜作为位置敏感器,四象限探测器探测角锥棱镜逆向反射光所携带的直线度误差,二维PSD和透...
关键词：直线度测量 共路补偿 角度漂移 空气扰动 
基于激光准直直线度测量方法的研究被引量：34
《光学技术》2003年第6期699-701,共3页匡萃方 冯其波 陈士谦 刘欣 冯俊艳 
介绍了用半导体激光器、单模光纤准直激光束作为测量基准轴线,四象限光电器件作为位置传感器,并由单片机进行数据采集、处理与测量结果显示的直线度准直仪。通过稳定性实验、重复特性实验和双频干涉仪比对实验,验证了本直线度测量系统...
关键词：直线度测量 激光准直 四象限光电探测器 单模光纤 半导体激光器 
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