低温低压

作品数:169被引量:274H指数:7
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郎穆尔探针低温低压等离子体诊断被引量:5
《真空科学与技术学报》2013年第10期995-997,共3页王晓冬 张杨 王庆 李敖 王瑞 陈文 
中澳国际合作项目(No.74404015);辽宁省自然科学基金项目(No.20102073);教育部留学回国博士启动基金项目(No.18504032)
基于Orbital Motion Limit(OML)离子收集理论,建立了等离子体参数与朗缪尔探针电流、电压之间的函数关系。将MATLAB作为编程工具,编制计算程序,采用多重滤波方法消除朗缪尔探针对等离子体产生的干扰。分析不同滤波方法对探针电流、电子...
关键词:朗缪尔探针 等离子体诊断 OML离子收集理论 多重滤波 数字实验 
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