低压驱动

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低压驱动RF MEMS开关设计与模拟
《现代电子技术》2010年第17期111-112,共2页闫闱 
RF MEMS开关存在驱动电压高、开关时间长等问题,利用ANSYS对电容式开关加以改进,设计扭转臂杠杆与打孔电容膜相结合的新型开关。通过静电耦合与模态分析的仿真,可以在理论上改善RF MEMS开关的射频性能,并有工艺的可行性。
关键词:RF MEMS开关 ANSYS 优化设计 驱动电压 
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