梯度掺杂

作品数：53被引量：106H指数：5
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纳米金属粒子梯度掺杂的硅基近红外吸收增强结构
《红外与激光工程》2024年第2期71-78,共8页孙雨佳 陈方舟 李晓志 
硅基光电子与CMOS工艺兼容,借助成熟的微电子加工工艺平台可以实现大规模批量生产,具有低成本、高集成度、高可靠性的优势。其中,硅基半导体探测器是目前应用最为广泛的可见光波段探测设备,将其工作频段拓展到近红外波段具有重要意义。...
关键词：超材料 梯度掺杂 等效介质理论 近红外吸收增强 
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