透气膜

作品数:78被引量:107H指数:6
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用于氨氮检测的无透气膜安培型氨气微传感器及系统被引量:3
《纳米技术与精密工程》2012年第2期120-124,共5页卞贺明 边超 佟建华 孙楫舟 张虹 韩泾鸿 夏善红 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB320300);国家自然科学基金资助项目(60971070)
设计并制备了一种无透气膜的安培型氨气微传感器,并构建了氨氮检测系统,该系统实现了将溶液中的氨氮转化为氨气,并应用所设计的微传感器检测气态氨氮.采用MEMS工艺制备组成该微传感器的微电极芯片,氨敏感材料选用铂黑,通过电化学方法修...
关键词:安培型氨气微传感器 无透气膜 薄液层 氨氮 
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