电极效应

作品数:12被引量:11H指数:2
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薄膜体声波谐振器电极效应研究
《微电子学与计算机》2012年第10期206-208,共3页张涛 解忧 刘婷 周胜男 
教育部博士点基金(20106121120001);中国博士后基金面上资助(20100471624);陕西省自然科学基金青年人才项目(2009JQ1005);陕西省教育厅产业化专项基金(2011JG10);西安市科技局工业攻关计划项目(CXY1125(8))
运用传输线路法推导了薄膜体声波谐振器(Thin Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)的输入阻抗公式.利用输入阻抗公式,研究了不同材料FBAR构成中电极材料和厚度对FBAR有效机电耦合系数的影响,FBAR最大有效机电耦合系数优化理论.由结论可...
关键词:薄膜体声波谐振器 电极效应 有效机电耦合系数 
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