配方管理

作品数：79被引量：69H指数：4
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基于SECS/GEM标准的半导体设备配方管理系统设计被引量：1
《机械设计与制造工程》2019年第4期60-63,共4页魏秋雨 张志胜 
设计了一种基于SECS/GEM标准的半导体封装测试设备配方管理系统(RMS),该系统能够实现配方(recipe)程序的上传、下载、参数修改调优以及设备状态实时监控等,减少了半导体生产过程中使用程序错误、错误修改参数等因素产生的生产事故和良...
关键词：SECS/GEM标准 半导体 配方管理系统 设备自动化 
基于WinCC的自动化配方管理系统设计与实现
《机械设计与制造工程》2016年第10期56-58,共3页周月娥 
江苏省2014年度高校"青蓝工程"优秀青年骨干教师资助项目
为实现多项生产管理功能,在现有视窗控制中心自动化生产系统基础上进行二次开发,系统整体方案设计包括整体框架设计、系统模块设计和工作流程设计等。该系统方案已经在生产自动化监控中具体应用,成功实现提高生产效率、提升管理水平和...
关键词：视窗控制中心 自动化配方管理系统 生产监控应用 
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