平面反射镜

作品数:97被引量:281H指数:9
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相关作者:赵建科张白周艳李瑞君潘亮更多>>
相关机构:中国科学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院上海光学精密机械研究所华中科技大学更多>>
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掠入射多包含角平面光栅单色器的设计
《激光与光电子学进展》2017年第2期261-265,共5页彭倩 魏来 范全平 杨祖华 王心怡 张强强 易有根 曹磊峰 
国家重大科学仪器开发专项(2012YQ130125);国家自然科学基金(11375160)
介绍了一种掠入射式多包含角平面光栅单色器的设计原理,从理论上对其可行性进行了分析和验证。该单色器系统对SX-700型单色器进行了改进,通过简单地升降多角平面反射镜即可对覆盖某个波长范围的包含角进行改变,选择所需的单色光波长。...
关键词:光学器件 平面光栅单色器 多角平面反射镜 软X射线 谐波抑制 
斜入射法检测平面反射镜的面形误差被引量:9
《激光与光电子学进展》2011年第7期85-90,共6页马春桃 罗红心 王劼 宋丽 
为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测,发展了斜入射检测方法,增大投射到待测镜上光斑的尺寸,从而增大干涉仪检测的镜面口径范围。推导了斜入射法检测平面反射镜面形的公式,并考虑了此方法可能引入的误差。对尺寸为1...
关键词:测量 镜面面形 斜入射法 ZYGO干涉仪 斜率误差 
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