平行板电容器

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基于平行板电容器的材料表面形貌测量仪
《物理实验》2019年第2期32-36,共5页白雪琪 廖琨 唐际杰 张谷令 邹斌 
国家自然科学基金资助项目(No:61675238;61775244);中央民族大学本科生科研训练计划资助项目(No.GCCX2017110004);中央民族大学自主科研项目(No.2018QNPY52)
利用平行板电容器的原理设计了材料表面形貌测量仪,将探针与电容器下极板固连,当探针在不平整的样品表面扫描时,两极板间距发生改变而引起电容变化.通过LabVIEW编程控制平移台蛇形移动,用平行板电容器厚度测试电路测量pF量级的电容改变...
关键词:平行板电容器 表面形貌 厚度 
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