电子倍增器

作品数:76被引量:99H指数:6
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硅微通道板电子倍增器的研制被引量:6
《光学技术》2007年第3期354-356,共3页牛丽红 冯玉春 阔晓梅 王云程 
深圳市科技计划资助项目(200449)
阐述了新一代硅微通道板的主要性能。采用定向离子深度刻蚀技术在2和4硅片上刻蚀了四组不同直径的硅微通道板微孔阵列,分别采用PECVD技术和液体化学沉积两种方法制作了硅微通道板的连续打拿极,从而探索了研制新一代硅微通道板的途径。...
关键词: 微通道板 定向离子刻蚀 电子倍增 
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