热屏

作品数：48被引量：116H指数：6
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相关领域：电子电信动力工程及工程热物理更多>>
相关作者：岑可法倪明江吴华夏史全郭宁更多>>
相关机构：中国科学院上海新昇半导体科技有限公司西门子股份公司浙江大学更多>>
相关期刊：《电机技术》《防爆电机》《新材料产业》《半导体技术》更多>>
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单晶炉导流筒、热屏及炭毡对单晶硅生长影响的优化模拟被引量：25
《人工晶体学报》2010年第2期524-528,544,共6页苏文佳 左然 Vladimir Kalaev 
江苏省普通高校研究生科研创新计划资助项目(No.1291130015)
在CZ法生长太阳能级单晶硅中,单晶炉的导流筒、热屏和炭毡对晶体生长有很大影响。通过对上述三个部件进行改进优化,并通过数值模拟对优化前后晶体和熔体的热场、热屏外表面与石英坩埚内壁面之间的氩气流场以及晶体中的热应力进行分析,...
关键词：单晶硅 数值模拟 热屏 炭毡 
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