电子束聚焦

作品数：30被引量：24H指数：3
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平面型场发射显示器的自聚焦效应
《微细加工技术》2002年第2期75-80,共6页黄静华 李德杰 等 
用有限差分法分析了平面型场发射显示器中的电场分布 ,给出了发射电子的运动轨迹 ,证明了在薄膜结构的平面阴极器件中存在自聚焦效应。聚焦效果取决于上电极宽度、上电极电压、阳极电压、以及阳极和上电极的间距。由于电子束的自聚焦作...
关键词：场发射 电子束聚焦 平面显示器 电场 CRT 
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