椭圆偏振光谱

作品数:85被引量:136H指数:6
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AlN薄膜的椭圆偏振光谱模型研究
《福州大学学报(自然科学版)》2007年第S1期11-14,共4页姜伟 李书平 刘达艺 康俊勇 
"863"计划资助项目(2006AA03A110);基础科研资助项目(A1420060155);国家自然科学基金资助项目(60336020);厦门市科技计划资助项目(3502Z20063001)
采用椭圆偏振光谱对MOCVD生长的AlN薄膜在波长430~850 nm的光学参数进行了测量.通过建立不同的物理和色散模型,分别考察了薄膜表面和界面的椭偏效应.拟合结果表明,AlN薄膜的物理模型在引入表面层后,两类色散模型拟合的数据均与椭偏光谱...
关键词:色散模型 椭圆偏振光谱仪 ALN 光学常数 
GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究被引量:1
《福州大学学报(自然科学版)》2007年第S1期15-18,共4页俞金玲 姜伟 李书平 刘达艺 康俊勇 
"863"计划资助项目(2006AA03A110);基础科研资助项目(A1420060155);国家自然科学基金资助项目(60336020);厦门市科技计划资助项目(3502Z20063001)
采用椭圆偏振光谱法,在1.5~6.5 eV光谱范围研究了纤锌矿结构GaN外延薄膜.通过物理模型建立和光谱拟合得到了GaN外延薄膜的厚度和光学常数.所得厚度值与扫描电子显微镜测量的结果相差仅为0.4%.表明所采用的模型和Cauchy吸收色散表式适用...
关键词:椭圆偏振光谱 GAN 薄膜 光学常数 色散模型 
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