微机械材料

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声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量
《科技与创新》2022年第18期68-70,共3页陈建丽 
2022年度广东省普通高校特色创新类项目(编号:2022KTSCX254)。
为从根本上保障微机械构件生产质量,应做好微机械材料检测工作,判断材料内各项性能,优化材料生产工艺。现阶段声激励共振法是微机械材料的主要测量方式,该技术应用效果可直接影响到微机械材料应用水平,需要基于微机械材料杨氏模量测量方...
关键词：声激励共振法 测量 微机械材料 杨氏模量 
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